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硬质阳极氧化是一种铝卷铝板及其合金特殊的阳极氧化法，有的也称厚膜阳极氧化，是20世纪50年代前后的重要的功能氧化工艺之一。硬质膜的硬度较高，在纯铝上所得的硬度可以达到1000HV以上，超过硬铬的硬度。早期的硬质阳极氧化一般在低温低浓度和强制搅拌方式进行，这样条件下生成的氧化膜在电解液中溶解较慢，所得的膜层厚度就比较厚，但膜层生长速度慢，生产成本高，且对锻铝、高硅、高铜铝合金等特殊铝材不适用。 目前对于硬质氧化的改进非常活跃，主要于两个方面。一是加入添加剂:另外则为改变的直流施压方式。加入添加剂主要是为了降低电解液对氧化膜层的溶解速度和允许温度范围。有机梭酸，如、乳酸、酒石酸、磺基水杨酸等为常用的硬质氧化添加剂;还有一些特殊的添加剂如金属盐、氟化钙、粗葱、木质素等。 这些添加剂的加入，能改变阳极氧化过程中化学、电化学行为，降低膜层的溶解速度和孔隙率，并可使氧化温度到5-20℃，有的甚至可以到40℃.在有关硬质阳极氧化的研究中，电源波形和电源设备的研究是为活跃的一个领域，从直流、交直流且加、脉冲电流一直到交流都开展了大量的研究。 这些工艺大都为了改善高合金成分材料的阳极氧化，烧穿或工作温度，膜层的硬度、厚度或耐磨性等。脉冲氧化适合一些难氧化的铝合金的硬质氧化，在已经得到推广.脉冲可以实现大电流密度快速硬质阳极氧化，成膜速率可达1.5um/min。
在反复的过程中，晶粒细化的一般过程为:首先，晶粒被粉碎成一系列具有小角度界面的亚晶，亚晶沿着一定方向拉长形成带状组织，亚晶带宽度一般为几微米或亚微米;然后，亚晶被继续破坏，开始出现部分具有大角度界面的等轴晶组织;后，亚晶带消失，显微组织主要为具有大角度晶界的等轴晶组织。 铝卷厂家谈等通道转角对对显微组织的作用等通道转角对于纯金属、合金、金属间化合物等具有显著的晶粒细化效果，可以0.2一0.3um尺寸的超细等轴晶组织。研究各工艺路线对晶粒细化的作用应综合考虑剪切面、晶体结构和变形织构间相互作用，因为相邻道次间剪切面的夹角今随着工艺路线的不同而变化。 以纯铝为例，路径Bc比A、C路径更容易等到等轴晶粒，而路径A比Bc和A路径更容易的到大角度晶界，而细化晶粒的效果是路径Bc哪。对于密排六方结构的镁和镁合金，由于其主滑移发生在(000晶面，而在1120晶向是镁的易滑移方向，所以对于镁合金，为快的晶粒细化效果，应采用路径Bc。 例如，透射电镜可观察到等通道转角Al一Cu一0.SZr等轴晶组织的扩展厚度消失形貌，而该形貌在退火后消失;这种扩展与晶界处存在大量的弹性应变和晶体点阵的扭转有关，且测定了ECAP纯Cu的晶界附近的弹性应变，结果表明这。
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