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真空退火优质弹簧钢、工具钢、精密钢管的丝材，不锈钢制品及钛合金材，作光亮退火均可采用真空处理。退火温度愈低，则要求真空度愈高。为防止铬的蒸发及加速热传导，一般采用载气加热(保温)法，并注意对不锈钢和钛合金不宜用氮而应采用氩气。
过程真空淬火真空淬火炉按冷却方法分为油淬和气淬两类，按工位数分为单室式和双室式，904山\畏嘲均属周期式作业炉。真空油淬炉都是双室的，后室置电加热元件，前室的下方置油槽。工件完成加热、保温后移入前室，关闭中门后向前室充入惰性气至大约2．66%26times;lO ～1．01%26times;10 Pa(200～760mm汞柱)，入油。油淬易引起工件表面变质。由于表面活性大，在短暂的高温油膜作用下即可发生显著薄层渗碳，此外，碳黑和油在表面的粘附对简化热处理流程很不利。真空淬火技术的发展主要在于研制性能优良、工位单一的气冷淬火炉。前述双室式炉亦可用于气淬(在前室喷气冷却)，但双工位式的操作使大批量装炉的生产发生困难，也易在高温移动中引起工件变形或改变工件方位增加淬火变形。单一工位的气冷淬火炉是在加热保温完成后在加热室内喷气冷却。气冷的冷速不如油冷快，也低于传统淬火法中的熔盐等温、分级淬火。因而，不断提高喷冷室压力，增大流量，以及采用摩尔质量比氮和氩小的惰性气体氦和氢，是当今真空淬火技术发展的主流。70年代后期将氮气喷冷的压力从(1～2)%26times;10Pa提高到(5～6)%26times;10Pa，使冷却能力接近于常压下的油冷。80年代中期出现超高压气淬，用(10～20)%26times;10Pa的氦，冷却能力等于或略高于油淬，已进入工业实用。90年代初采用40%26times;10Pa的氢气，接近水淬的冷却能力，尚处于起步阶段。工业发达已进展到以高压(5～6)%26times;10。Pa气淬为主体，而中国产气淬一些金属的蒸气压(理论值)与温度的关系则尚处于一般加压气淬(2%26times;10Pa)型阶段。
光亮退火可保持精密钢管外表光亮、尺寸精度，越来越受到客户的青睐。在保护气氛中实现的表面无氧化和不脱碳的冷轧板带退火。保护气氛有单一的惰性气体氩或氦，也有混合气体CO-H2-N2-CO2(DX)，N2-H2(HNX)，N2-CO2-H2等。这些混合气体中的成分经过调整能使带钢退火过程中的氧化与还原、脱碳与渗碳速度相等，从而实现板带的无氧化和无脱碳的退火。退火后板带表面有不可见的氧化膜，保护金属光泽。
根据炉气与钢的化学反应及其变化规律，制备和应用保护气氛，确定防止氧化和脱碳的条件。CO2和H2O能使带钢表面氧化和脱碳；CO和CH2能使带钢表面氧化层还原和钢表面渗碳；H2虽然能使氧化层还原，也能使钢表面脱碳。光亮退火因素取决于H2O、CO2、H2气氛和Fe的氧化还原反应。N2和其他惰性气体是钢的中性保护气氛，其中N2应用多，但必须除去其中的氧性化气氛，方能起到良好的保护作用。一般常用N2与H2的混合保护气氛。
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